半导体厂自动化之通讯协定SECSIII&GEM.zip
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通信 半导体 GEM
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上传日期:2022-11-17 14:09
MD5:6a3215c8bf************7b8332172a
资源说明:半导体厂自动化之通讯协定SECSIII&GEM,SECS/GEM是由国际半导体设备与材料协会(SEMI)的会员一起构建的连接性标准。该标准应用于在设备和工厂管理系统间的通讯标准。

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1 半導體廠自動化之通訊協定SECSIII&GEM.pdf 259.92 KB 2022/10/14 11:00:54

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