半导体厂自动化通讯协议SECS&GEM.zip
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通信 协议 半导体
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上传日期:2021-07-26 17:26
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资源说明:SECS/GEM是由国际半导体设备与材料协会(SEMI)制定的连接性标准。此连接性标准用于在设备和工厂的资讯和控制系统间建立通讯。SECS是SEMI设备通讯标准的缩写。GEM指SEMI连接性标准E30,被定义为制造设备实现通讯和控制的一般模型。一般来说,SECS/GEM标准定义了信息、状态机和情境,来让工厂软件能够控制并监视制造设备。正式名称是SEMI连接性标准E30。在实现SECS/GEM标准的工厂内,存在主机和设备这两方。由设备在其中一台必须实施和遵守SEMI E30标准的计算机上运行软件。由制造商(工厂)运行与设备接口建立通讯的主机软件。主机无需遵守完整的连接性标准,因为它只设定设备的预期行为。不过,若要使用接口,主机必须进行主机端通讯。SECS/GEM为每条可能的主机信息设定了清晰的设备预期行为。
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1 半导体厂自动化通讯协议SECS&GEM.pdf 690.06 KB 2020/8/12 18:34:18

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